Polytec MSA-100-3D: Micro System Analyzer - วัดการสั่นสะเทือนของ MEMS

รหัสสินค้า : Polytec MSA-100-3D

Download Technical Datasheet

สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติม ติดต่อ : ณัฐพล ปานเอี่ยม โทร. 09-9331-4114

* สินค้ารับประกัน 1 ปี (เฉพาะตัวเครื่อง ไม่รวมถึงสินค้าสิ้นเปลือง) * โปรดตรวจสอบราคาตั้งอีกครั้ง

Polytec MSA-100-3D Micro System Analyzer — วัดการสั่นสะเทือนของ MEMS แบบ 3 มิติพร้อมกันในครั้งเดียว

MSA-100-3D คือ Micro System Analyzer ที่ออกแบบมาเพื่อตอบโจทย์ความเป็นจริงของการสั่นสะเทือน เนื่องจากในทางปฏิบัติ การเคลื่อนที่ของโครงสร้างจุลภาคไม่ได้เกิดขึ้นในทิศทางเดียว แต่มีองค์ประกอบในทั้ง 3 แกนพร้อมกันเสมอ ไม่ว่าจะมาจากการออกแบบหรือจาก tolerance ในกระบวนการผลิต MSA-100-3D จึงบันทึกการสั่นสะเทือนทั้ง 3 แกนพร้อมกันในชุดข้อมูลเดียว แบบ real-time ด้วยความละเอียดระดับ sub-picometer ทั้งในทิศ out-of-plane และ in-plane

ด้วยจุดเลเซอร์ขนาดเล็กกว่า 4 ไมโครเมตร ระยะห่างจากชิ้นงาน 38 มิลลิเมตร และแบนด์วิดท์สูงสุด 25 MHz MSA-100-3D เหมาะสำหรับการวิเคราะห์ MEMS sensor, actuator, microstructure และตัวอย่างทางชีววิทยาที่ต้องการข้อมูลการเคลื่อนที่แบบสมบูรณ์ครบทั้ง 3 มิติ ระบบรองรับทั้ง single-point measurement และ full-field scanning พร้อมแสดงผล deflection shape ครอบคลุมทั้งพื้นผิวของชิ้นงาน และรองรับการเชื่อมต่อกับ probe station เชิงพาณิชย์ทั่วไปสำหรับงานระดับ wafer

ความสามารถที่โดดเด่นของ MSA-100-3D

• วัดการสั่นสะเทือนพร้อมกันทั้ง 3 แกน (X, Y, Z) ในชุดข้อมูลเดียว
• Real-time measurement แบนด์วิดท์สูงสุด 25 MHz ไม่ต้อง post-processing
• ความละเอียดระดับ sub-picometer ทั้ง out-of-plane และ in-plane
• จุดเลเซอร์ขนาดน้อยกว่า 4 ไมโครเมตร — ความละเอียดเชิงพื้นที่สูงสุด
• ระยะทำงาน 38 มิลลิเมตร — เพียงพอสำหรับการใช้ร่วมกับ probe และ fixture
• Full-field scanning แสดง deflection shape ครอบคลุมทั้งพื้นผิว
• รองรับ MEMS probe station สำหรับการทดสอบระดับ wafer

ตัวอย่างการประยุกต์ใช้

• วิเคราะห์พฤติกรรม 3 มิติของ MEMS inertial sensor, gyroscope และ accelerometer
• ตรวจสอบ cross-axis sensitivity และ parasitic motion ที่เกิดจาก production tolerance
• การทดสอบและพัฒนา MEMS actuator ที่มีการเคลื่อนที่ซับซ้อนหลายทิศทาง
• งานวิจัยด้าน nanotechnology, microtechnology และ biomedical
• การ validate FE model ด้วยข้อมูลการเคลื่อนที่จริงในทุกทิศทาง