Polytec MSA-600: Micro System Analyzer - ระบบวัดและวิเคราะห์ MEMS แบบครบวงจร

รหัสสินค้า : Polytec MSA-600-2

Download Technical Datasheet

สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติม ติดต่อ : ณัฐพล ปานเอี่ยม โทร. 09-9331-4114

* สินค้ารับประกัน 1 ปี (เฉพาะตัวเครื่อง ไม่รวมถึงสินค้าสิ้นเปลือง) * โปรดตรวจสอบราคาตั้งอีกครั้ง

Polytec MSA-600 Micro System Analyzer — ระบบวัดและวิเคราะห์ MEMS แบบครบวงจร ตั้งแต่ความถี่ต่ำจนถึง 8 GHz

MSA-600 คือ all-in-one optical measurement workstation สำหรับการวิเคราะห์พลศาสตร์และโทโพกราฟีของโครงสร้างจุลภาค (MEMS) และ microsystem ทุกประเภท ระบบรวม laser Doppler vibrometer ความละเอียดสูงและ white-light interferometer ไว้ในเครื่องเดียว สามารถวัดทั้ง out-of-plane (OOP) และ in-plane (IP) motion แบบ real-time โดยไม่ต้องผ่านกระบวนการ post-processing ทำให้ได้ผลวัดที่รวดเร็วและแม่นยำสำหรับงานวิจัย พัฒนา และควบคุมคุณภาพ

MSA-600 มีให้เลือกหลาย version เพื่อตอบสนองความต้องการที่หลากหลาย ตั้งแต่รุ่น M/V สำหรับ MEMS ทั่วไปและ MEMS microphone ที่ครอบคลุมความถี่สูงสุด 25 MHz รุ่น X/U สำหรับอุปกรณ์ความถี่สูงอย่าง SAW และ BAW ที่ครอบคลุมถึง 2.5 GHz และรุ่น S ซึ่งเป็น premiere รุ่นล่าสุดที่รองรับการวิเคราะห์สูงสุดถึง 8 GHz เหมาะสำหรับอุปกรณ์อย่าง FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator) และ GHz resonator ที่ต้องการความแม่นยำสูงสุด ระบบรองรับการเชื่อมต่อกับ probe station เชิงพาณิชย์ทั่วไปสำหรับการทดสอบระดับ wafer ได้ทั้งแบบ single-die และ full wafer

ความสามารถที่โดดเด่นของ MSA-600

• All-in-one workstation วัดได้ทั้ง dynamic motion และ surface topography ในเครื่องเดียว
• Real-time measurement ไม่ต้องรอ post-processing — ดูผลได้ทันที
• ความละเอียดการกระจัดระดับ sub-picometer — แม่นยำที่สุดในระดับนี้
• รุ่น M/V: ครอบคลุมความถี่สูงสุด 25 MHz เหมาะสำหรับ MEMS และ MEMS microphone
• รุ่น X/U: ครอบคลุมถึง 2.5 GHz เหมาะสำหรับ HF MEMS, SAW และ BAW device
• รุ่น S (ใหม่): ครอบคลุมถึง 8 GHz เหมาะสำหรับ FBAR และ GHz resonator
• วัดและแสดงผล deflection shape แบบ full-field ได้รวดเร็ว
• รองรับ FEM validation ด้วย import/export ที่ครบครัน
• รองรับการเชื่อมต่อกับ probe station สำหรับ wafer-level testing แบบ automated

ตัวอย่างการประยุกต์ใช้

• การพัฒนาและทดสอบ MEMS inertial sensor, pressure sensor และ MEMS microphone
• การวัด cross-talk effect และ surface deformation ใน microsystem
• การทดสอบและพัฒนา SAW, BAW filter และ RF MEMS resonator
• การ validate FE model ด้วยข้อมูลการวัดจริงจากชิ้นงาน
• การควบคุมคุณภาพระดับ wafer สำหรับอุตสาหกรรม semiconductor
• งานวิจัยด้าน microtechnology, nanotechnology และ biology